1965年，德國Stewart發明了六自由度并聯機構，作為飛行模擬器用于訓練飛行員。1978年,澳大利亞著名機構學教授Hunt提出將并聯機構用于機器人手臂。

此后，日本以及俄羅斯、意大利、德國等歐洲的各大公司相繼推出并聯機器人作為加工工具的應用機構。80年代，Maccallion和 Pham.D.J首次將該機構按操作器設計，成功的應用于裝配生產線，標志著真正意義上的并聯機器人的誕生，從此推動了并聯機器人發展的歷史。90年代并聯機構被用于開發起重機，以及開發宇宙飛船空間的對接器等更高科技領域。

同時，多自由度并聯機構的研究也受到科學界的關注。美國、日本、英國、德國、俄羅斯等國先后有一批學者從事研究。我國也非常重視并聯機器人及并聯機床的研究、開發工作，國內眾多大學和科研單位如中科院、哈工大、清華、北京航空航天、東北大學、浙大等都開展這方面研究工作，并赴歐美參加了此項內容的研討，取得了突破性進展。

迄今為止，并聯機構的樣機各種各樣，包括平面的、空間不同自由度的、不同布置方式的、以及超多自由度并串聯機構。

2010年左右，國內出現了一批研發生產多自由度并聯平臺的企業，主要以研究六自由度運動平臺為主，并且經過10年的發展已經形成了具有一定規模的產業鏈，以高精度定位的精密定位六自由度平臺加工技術及控制算法也得到了一定的突破，六自由度運動平臺精度可達0.01mm。