伺服電機安裝在電動缸或直線模組上面有時候會產生異常振動或其它一些故障。通常情況下，伺服電機的振動是由于轉動部分不平衡、機械故障或電磁方面的原因引起的。用戶在處理此類問題時要根據具體原因而分析并處理。

一、轉動部分不平衡主要是轉子、耦合器、聯軸器、傳動輪(制動輪)不平衡引起的。

處理方法是先找好轉子平衡。如果有大型傳動輪、制動輪、耦合器、聯軸器，應與轉子分開單獨找好平衡。再有就是轉動部分機械松動造成的。如：鐵心支架松動，斜鍵、銷釘失效松動，轉子綁扎不緊都會造成轉動部分不平衡。

二、機械部分故障主要有以下幾點：

1、聯動部分軸系不對中，中心線不重合，定心不正確。這種故障產生的原因主要是安裝過程中，對中不良、安裝不當造成的。還有一種情況，就是有的聯動部分中心線在冷態時是重合一致的，但運行一段時間后由于轉子支點，基礎等變形，中心線又被破壞，因而產生振動。

2、與電機相聯的齒輪、聯軸器有毛病。這種故障主要表現為齒輪咬合不良，輪齒磨損嚴重，對輪潤滑不良，聯軸器歪斜、錯位，齒式聯軸器齒形、齒距不對、間隙過大或磨損嚴重，都會造成一定的振動。

3、電機本身結構的缺陷和安裝的問題。這種故障主要表現為軸頸橢圓，轉軸彎曲，軸與軸瓦間間隙過大或過小，軸承座、基礎板、地基的某部分乃至整個電機安裝基礎的剛度不夠，電機與基礎板之間固定不牢，底腳螺栓松動，軸承座與基礎板之間松動等。而軸與軸瓦間間隙過大或過小不僅可以造成振動還可使軸瓦的潤滑和溫度產生異常。

4、電機拖動的負載傳導振動。例如：汽輪發電機的汽輪機振動，電機拖動的風機、水泵振動，引起電機振動。

電氣部分的故障是一般由電磁方面的原因造成的。